초임계 반도체 장비 중국 유출 4명 재판행

초미세 반도체의 불량률을 줄이는 핵심 국내 첨단 기술 ‘초임계 세정 장비’를 중국으로 유출한 일당이 재판에 넘겨졌다.

수원지검은 부정경쟁방지법 위반 혐의로 삼성전자의 자회사 세메스 출신 직원 2명과 함께 협력회사 관계자 2명 등 4명을 구속기소했다고 17일 밝혔다.

검찰에 따르면 이들은 2018년 중국의 연구소와 접촉해 세메스 측이 세계 최초로 개발해 삼성전자에만 납품해온 초임계 세정 장비를 그대로 만들어줄 수 있다면서 생산 설비가 없는 상태에서 18억원을 받은 혐의다.

또한 이들은 중국과 합작 회사를 만들어 실제로 초임계 세정 장비를 만들어 넘긴 것으로 파악됐다. 이들은 지금까지 모두 800억원의 부당이득을 올린 혐의다.

초임계 세정 장비는 액체도 기체도 아닌 ‘초임계’ 상태의 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다.