반도체 제작 필수 첨단 식각·증착 기술 개발
| 중앙신문=허찬회·김유정 기자 | 경기도가 3년 전인 2019년 투자 유치에 성공한 세계적 반도체장비 제조업체인 램리서치가 용인 지곡일반산업단지에 연구개발(R&D)센터를 준공하고 본격가동에 들어간다.
26일 경기도에 따르면 램리서치는 이날 오전 용인 지곡일반산업단지에서 이한규 경기도행정2부지사, 팀 아처(Tim Archer) 램리서치 대표이사, 박진규 산업통상자원부 제1차관, 백군기 용인시장과 기업인 30여명이 참석한 가운데 램리서치 코리아테크놀로지센터 개소식을 가졌다.
램리서치 코리아테크놀로지센터는 약 3만㎡ 규모로, 반도체 제작에 필요한 첨단 증착 및 식각 기술을 연구 개발할 예정이다.
경기도와 용인시는 지난 2019년 램리서치와 투자유치 업무협약을 체결한 후 전담팀을 구성하고 연구개발(R&D)센터 입지 선정, 인·허가 지원 등 램리서치 코리아테크놀로지센터 설립을 지원했다.
경기도는 이번 램리서치 연구소 준공으로 도와 램리서치사 간 전략적 동반관계가 더 확고해질 것으로 기대하고 있다. 램리서치사는 현재 오산에 반도체 제조 공장을, 성남시에 반도체 판매와 유통 시설을 보유하고 있는데 이번 용인 연구개발센터 준공으로 연구와 제조, 판매로 이어지는 반도체 생태계 전 과정을 경기도에 두게 됐다.
특히, 도는 램리서치가 지난 2월 한국에서 차세대반도체 핵심장비인 3D 적층 기술을 지원하는 고선택비 식각 장비를 생산한다고 밝힌 점도 주목하고 있다. 이 장비는 차세대 D램 기술로 꼽히는 3D 적층기술을 지원하는 것으로 경기도는 램리서치가 계속해서 국내 차세대반도체 개발에 적극적으로 참여하겠다는 의사를 밝힌 것이어서 램리서치의 이번 연구소 개소가 더욱 의미 있다고 설명했다.
팀 아처 램리서치 CEO는 ”램리서치 코리아테크놀로지 센터 개관은 램리서치 글로벌 R&D 네트워크의 강력한 확장“이라며 ”고객사와 보다 긴밀한 기술 파트너십을 가능하게 함으로써 차세대 반도체 솔루션을 더욱 빠르게 개발할 수 있도록 역량을 높일 것“이라고 말했다.
이한규 경기도행정2부지사는 “램리서치 코리아테크놀로지센터 준공으로 경기도는 삼성전자(기흥·화성·평택)와 SK하이닉스(이천·용인), 램리서치 코리아테크놀로지센터로 이어지는 세계 최대 규모의 반도체 클러스터를 보유하게 됐다”면서 “램리서치 코리아테크놀로지센터가 국내 중소기업과 상생협력 해 장비 국산화를 촉진하고, 한국 반도체산업 생태계를 강화하려는 경기도의 노력에 큰 힘이 되리라 믿는다”고 말했다.
백군기 용인시장은 “램리서치가 삼성전자, SK하이닉스와 함께 용인의 앵커기업으로 활약하며 K-반도체벨트 성장의 주요 동력이 될 것”이라며 “시가 글로벌 반도체 도시로 나아가는 촉매제 역할을 해줄 것으로 기대한다”고 말했다.
한편, 이번 램리서치의 한국 연구개발 투자로 세계적인 반도체장비 제조회사들이 경기도 내 연구 및 제조시설 설립을 문의하고 있어, 미국·유럽·일본의 핵심 장비업체들의 후속 투자가 기대된다.
